PUTKONEN M について
Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN について
SAJAVAARA T について
Univ. Helsinki, Helsinki, FIN について
JOHANSSON L-S について
Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN について
NIINISTOE L について
Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN について
Chemical Vapor Deposition について
原子層エピタクシー について
酸化物薄膜 について
第3族元素の錯体 について
前駆体 について
Y2O3 について
薄膜 について
低温 について
ALE について
堆積 について