文献

J-GLOBAL ID：200902172341177429   整理番号：93A0653718

窒素アルゴン混合ガス中でのrfスパッタによって作成したCo-N,Co-Fe-NとCo-Zr-N膜の性質

Properties of Co-N, Co-Fe-N, and Co-Zr-N films prepared by rf sputtering in nitrogen-argon gas mixtures.

著者 (2件)： SHIH K K (IBM Research Division, New York) ,  KARASINSKI J (IBM Research Division, New York)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 73  号： 12  ページ： 8377-8380  発行年： 1993年06月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： rf反応性スパッタリングによる膜の構造と性質を調べた。窒素分...

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0653718&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

分類 (2件)： 金属結晶の磁性  (BM06040T) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (8件)： 窒素 ,  アルゴン ,  混合ガス ,  RFスパッタ ,  CO ,  Fe ,  Zr ,  性質