文献

J-GLOBAL ID：200902172537038524   整理番号：01A0433276

数値制御EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発 nmオーダでの加工精度の評価

Development of Numerically Controlled EEM (Elastic Emission Machining) System. Evaluation of Figuring Accuracy with the Range of Nanometer.

著者 (6件)： 森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  杉山和久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  稲垣耕司 (大阪大 大学院工学研究科) ,  三村秀和 (大阪大 大学院工学研究科) ,  今井利幸 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67  号： 4  ページ： 607-612  発行年： 2001年04月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： EEMは,微粒子表面と加工物間の化学反応に基づく加工法であり...

シソーラス用語： *超精密加工 ,...
準シソーラス用語： 工作精度 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0433276&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (16件)：

• ISHIKAWA, T. Exotic Silicon Optics Elements at the Spring-8. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 3
• KINOSHITA, H. Development of 3-Aspherical Mirror Optics for Extreme Ultraviolet Lithography. Precision Science and Technology for perfect surfaces. 1999, 9
• BECKER, K. B. Fabrication Technologies for "Perfect" Optics. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 51
• WEISER, M. Aspherical Surfaces at 100pm Accuracy. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 61
• MORI, Y. Activities on Perfect Surfaces in Osaka University. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, iii

タイトルに関連する用語 (7件)： 数値制御 ,  EEM ,  加工システム ,  開発 ,  オーダ ,  加工精度 ,  評価