単結晶シリコンのダクタイル様式の旋削機構

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J-GLOBAL ID：200902172661015958 整理番号：96A0959549

Ductile-regime turning mechanism of single-crystal silicon.

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資料名：
巻： 18 号： 2/3 ページ： 129-137 発行年： 1996年04月
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

単結晶シリコンウエファのダイヤモンドバイトによる精密,微小旋...

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固体デバイス製造技術一般

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