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J-GLOBAL ID：200902172964706694   整理番号：99A0997305

SOI基板上に作られた高速プレーナSiフォトダイオードの設計とその実行

Design and Implementation of High-Speed Planar Si Photodiodes Fabricated on SOI Substrates.

著者 (4件)： SCHOW C L (Univ. Texas, TX, USA) ,  LI R (Univ. Texas, TX, USA) ,  SCHAUB J D (Univ. Texas, TX, USA) ,  CAMPBELL J C (Univ. Texas, TX, USA)
資料名： IEEE Journal of Quantum Electronics  (IEEE Journal of Quantum Electronics)
巻： 35  号： 10  ページ： 1478-1482  発行年： 1999年10月 
JST資料番号： H0432A  ISSN： 0018-9197  CODEN： IEJQA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低いバイアス電圧で動作し,トランジスタ製作工程で容易に集積可...

シソーラス用語： SOI構造 ,...

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分類 (1件)： 光導電素子  (NC03083X)

タイトルに関連する用語 (5件)： SOI基板 ,  プレーナ ,  Si ,  フォトダイオード ,  設計