文献

J-GLOBAL ID：200902173005885861   整理番号：94A0169911

non-Crエッチャントにより生じるピット形状の観察

Observation of etch pits by non-Cr etchant.

著者 (3件)： 池ケ谷和良 (コマツ電子金属) ,  宮村佳児 (コマツ電子金属) ,  今井正人 (コマツ電子金属)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 1  ページ： 184  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： Cr ,  エッチャント ,  ピット ,  観察