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J-GLOBAL ID：200902173451130939   整理番号：99A0999494

ヘテロエピタキシャルBaTiO₃薄膜キャパシタにおける強誘電性の厚み依存性

Thickness Dependence of Ferroelectricity in Heteroepitaxial BaTiO₃ Thin Film Capacitors.

著者 (4件)： YANASE N (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  ABE K (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  FUKUSHIMA N (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  KAWAKUBO T (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 9B  ページ： 5305-5308  発行年： 1999年09月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二段堆積法でのrfマグネトロンスパッタリングによりSrRuO...

シソーラス用語： *強誘電体 ,...
準シソーラス用語： Curie点

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (14件)：

• 1) K. Abe and S. Komatsu: J. Appl. Phys. 77 (1995) 6461.
• 2) K. Abe and S. Komatsu: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 361 (1995) 465.
• 3) K. Abe, S. Komatsu, N. Yanase, K. Sano and T. Kawakubo: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 5575.
• 4) K. Abe, S. Komatsu, N. Yanase, K. Sano and T. Kawakubo: Integr. Ferroelectr. 17 (1997) 89.
• 5) K. Abe, S. Komatsu, N. Yanase, K. Sano and T. Kawakubo: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 5846.

タイトルに関連する用語 (4件)： BaTiO3 ,  薄膜キャパシタ ,  強誘電性 ,  厚み依存性