文献
J-GLOBAL ID:200902173483284989
整理番号:94A0179755
電子線照射によるn型Si表面の低抵抗化
Surface Modification of n-type Si induced by (MeV order) electron irradiation.
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{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0179755&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}