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J-GLOBAL ID：200902173600822172   整理番号：94A0820054

プレナムチャンバーの構造が一方向流クリーンルームの気流の均一性に及ぼす影響

Effect of Plenum Chamber Configuration on Airflow Uniformity in Unidirectional Flow Cleanrooms.

著者 (2件)： XIE G (Obayashi Corp., Tokyo, JPN) ,  SUWA Y (Obayashi Corp., Tokyo, JPN)
資料名： Journal of the Institute of Environmental Sciences  (Journal of the Institute of Environmental Sciences)
巻： 37  号： 4  ページ： 21-27  発行年： 1994年07月 
JST資料番号： E0531A  ISSN： 1098-4321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一方向流クリーンルームの高い清浄度を実現するためには,均一な...

シソーラス用語： クリーンルーム ,...
準シソーラス用語： プレナムチャンバー

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分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 向流 ,  クリーンルーム ,  気流 ,  均一性