GaAs中のZnの横方向拡散とその評価法

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J-GLOBAL ID：200902173967594567 整理番号：93A0710763

Evaluation of Lateral Zn Diffusion in GaAs under a Diffusion Mask.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 113 号： 7 ページ： 556-565 発行年： 1993年07月
JST資料番号： S0810A ISSN： 0385-4221 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

GaAsへの浅いZn拡張における実用的な横方向拡散の評価法で...

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固体中の拡散一般 , 固体デバイス製造技術一般

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