Fabrication of fine metal microstructures packaged in the bonded glass substrates.

文献

J-GLOBAL ID：200902174026374235 整理番号：00A0207744

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資料名：
巻： 3893 ページ： 486-493 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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