文献
J-GLOBAL ID:200902174147986343 整理番号:93A0609450
ULSI先端技術 ULSI技術の動向
Advanced Technologies for ULSIs. Trends in ULSI Technology.
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著者 (1件):
柏木正弘
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資料名:
東芝レビュー (Toshiba Review)
東芝レビュー について
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巻:
48
号:
7
ページ:
500-502
発行年:
1993年07月
JST資料番号:
F0360A
ISSN:
0372-0462
CODEN:
TORBA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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微細化・高集積化の追求で目覚ましい進展を遂げてきた半導体技術...
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