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J-GLOBAL ID：200902174194491743   整理番号：94A0969412

Improved selective properties of SiO₂/TiN_xO_y-Al.

著者 (5件)： SCHELLINGER H (Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Muenchen) ,  LAZAROV M (ZAE Bayern) ,  ASSMANN W (LMU, Garching) ,  BAUER B (Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Muenchen) ,  STEINHAUSEN C (LMU, Garching)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2255  ページ： 172-181  発行年： 1994年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： SiO2 ,  Al