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J-GLOBAL ID：200902174265359388   整理番号：00A0850169

表面音響波発生を最小化するマイクロマシン加工変換器設計

Micromachined Transducer Design for Minimized Generation of Surface Waves.

著者 (4件)： NIEDERER K (Siemens AG, Muenchen, DEU) ,  ECCARDT P-C (Siemens AG, Muenchen, DEU) ,  MEIXNER H (Siemens AG, Muenchen, DEU) ,  LERCH R (Univ. Erlangen-Nuernberg, Erlangen, DEU)
資料名： Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1999  号： Vol.2  ページ： 1137-1139  発行年： 1999年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 膜質量が小さいため,静電容量マイクロマシン加工超音波変換器(...

シソーラス用語： *超音波変換器 ,...
準シソーラス用語： 流体抵抗 ,...

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分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 表面音響波 ,  最小化 ,  マイクロマシン加工 ,  変換器 ,  設計