文献

J-GLOBAL ID：200902174425283308   整理番号：02A0540249

圧電カンチレバーを用いたダイナミックモードAFM 局所光学及び電気特性

Dynamic-mode AFM using the piezoelectric cantilever: Investigations of local optical and electrical properties.

著者 (7件)： SATOH N (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KOBAYASHI K (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  WATANABE S (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  FUJII T (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  HORIUCHI T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YAMADA H (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MATSUSHIGE K (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 188  号： 3/4  ページ： 425-429  発行年： 2002年03月28日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積偏向センサとしてのPZT薄膜を用いた微細加工カンチレバー...

シソーラス用語： *力顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0540249&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0707B") }}

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧電カンチレバー ,  AFM ,  光学 ,  電気特性