結晶の構成粒子の描写およびシリコンウエハ表面上への衝撃による結晶品質の特性化

GRAEF D; SUHREN M; LAMBERT U; SCHMOLKE R; EHLERT A; VON AMMON W; WAGNER P

文献

J-GLOBAL ID：200902174620144819 整理番号：98A0193160

結晶の構成粒子の描写およびシリコンウエハ表面上への衝撃による結晶品質の特性化

Characterization of Crystal Quality by Crystal Originated Particle Delineation and the Impact on the Silicon Wafer Surface.

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資料名：
巻： 145 号： 1 ページ： 275-284 発行年： 1998年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

結晶の構成粒子(COP)の描写によるSiウエハの特性化で,結...

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固体デバイス材料 , 半導体の格子欠陥

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