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J-GLOBAL ID：200902174772595565   整理番号：93A0472633

XHVスループット装置を用いたステンレス鋼チャンバーからのガス放出特性

Outgassing Rate of Stainless Steel Chamber Measured by XHV Throughput System.

著者 (5件)： YANG Y (日本真空技術 超材研) ,  斎藤一也 (日本真空技術 超材研) ,  稲吉さかえ (日本真空技術 超材研) ,  池田佳直 (日本真空技術 超材研) ,  塚原園子 (日本真空技術 超材研)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 36  号： 3  ページ： 234-237  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 極高真空排気系を使用し,ガス放出速度測定限界が8×10<su...

シソーラス用語： 極高真空 ,...
準シソーラス用語： SUS304L

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分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (3件)：

• 石川雄一. 極高真空調査報告書. 1987, 45
• 松井豊. 真空. 1991, 34, 37
• 稲吉さかえ. 第33回真空に関する連合講演会. 1992, 講演番号29-3

タイトルに関連する用語 (4件)： スループット ,  ステンレス鋼 ,  チャンバー ,  ガス放出