大形半導体部品VLSI生産におけるリアルタイム適応のエキスパート方式

DECKER R; DOLZER S; KLAR W

文献

J-GLOBAL ID：200902174773137927 整理番号：94A0088272

大形半導体部品VLSI生産におけるリアルタイム適応のエキスパート方式

Real-time expert system in VLSI production.

Echtzeitfaehiges Expertensystem in der VLSI-Produktion.

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巻： 88 号： 11 ページ： 536-537 発行年： 1993年11月
JST資料番号： D0909A ISSN： 0932-0482 CODEN： ZTWFAP 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：ドイツ語 (DE)

米の当該専門家が93年5月発行のNewsletter「知能的...

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固体デバイス製造技術一般

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