Si(001)基板上の自在型SiGeをベースにしたナノパイプライン

SCHMIDT O G; JIN-PHILLIPP N Y

文献

J-GLOBAL ID：200902174949047105 整理番号：01A0650919

Si(001)基板上の自在型SiGeをベースにしたナノパイプライン

Free-standing SiGe-based nanopipelines on Si(001) substrates.

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資料名：
巻： 78 号： 21 ページ： 3310-3312 発行年： 2001年05月21日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

薄い固体膜を基板から解放して,それ自身の表面に巻き込むとナノ...

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半導体薄膜

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