パルスレーザ蒸着法により成長したTiO<sub>2</sub>膜の構造的性質

YOON H-S; KIM S K; IM H-S

文献

J-GLOBAL ID：200902175052581350 整理番号：97A0705259

パルスレーザ蒸着法により成長したTiO₂膜の構造的性質

Structural Properties of TiO₂ Films Grown by Pulsed Laser Deposition.

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巻： 18 号： 6 ページ： 640-643 発行年： 1997年06月20日
JST資料番号： T0051A ISSN： 0253-2964 CODEN： BKCSDE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

パルスレーザ蒸着法を用いてTiO₂膜を...

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半導体薄膜

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パルスレーザ蒸着法により成長したTiO2膜の構造的性質

パルスレーザ蒸着法により成長したTiO₂膜の構造的性質