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J-GLOBAL ID：200902175083083707   整理番号：02A0153431

前駆体溶液からの透明導電性RuO₂薄膜の作製

Preparation of Transparent Conductive RuO₂ Thin Film from its Precursor Solution.

著者 (4件)： HARA Y (Toyama Univ., Toyama, JPN) ,  RENGAKUJI S (Toyama Univ., Toyama, JPN) ,  NAKAMURA Y (Toyama Univ., Toyama, JPN) ,  SHINAGAWA A (Japan Carlit Co., Ltd., Shibukawa, JPN)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 70  号： 1  ページ： 13-17  発行年： 2002年01月05日 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性RuO₂薄膜を作製するための...

シソーラス用語： 機能材料 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (18件)：

• 1) Y. Sawada, Developments of Transparent Conductive Films, CMC Co., Ltd., p.154 (1999) (in Japanese).
• 2) M. Guglielmi, P. Colombo, and V. Rigato, J. Electrochem. Soc., 139, 1655 (1992).
• 3) K. Adachi, Jpn. Patent Open, No.8-143337 (1996).
• 4) H. Maiwa, N. Ichinose, and K. Okazaki, Jpn. J. Appl. Phys., 33 (1994), pp. 5223-5226, Pt.l, No.9 B.
• 5) D. Barreca, A. Buchberger, S. Daolio, L. E. Depero, M. Fabrizio, F. Morandini, G. A. Rizzi, L. Sangaletti, and E. Tondello, Langmuir, 15, 4537 (1999).

タイトルに関連する用語 (5件)： 前駆体 ,  溶液 ,  導電性 ,  薄膜 ,  作製