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J-GLOBAL ID：200902175099256776   整理番号：01A0437376

メソシステム技術(MsST)のための低温同時焼成セラミックテープ技術の概観

Overview of low temperature co-fired ceramics tape technology for meso-system technology(MsST).

著者 (4件)： GONGORA-RUBIO M R (IPT, Sao Paulo, BRA) ,  ESPINOZA-VALLEJOS P (Univ. Pennsylvania, PA, USA) ,  SOLA-LAGUNA L (DuPont Electronic Material, Inc., PR, USA) ,  SANTIAGO-AVILES J J (Univ. Pennsylvania, PA, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A89  号： 3  ページ： 222-241  発行年： 2001年04月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層の低温同時焼成セラミック(LTCC)テープ材料は,十~数...

シソーラス用語： マイクロエレクトロニクス ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 低温 ,  同時焼成 ,  セラミック ,  テープ