シリコンウエハ上のc配向したLiNbO3/LiTaO3光導波路2層化膜のパルスレーザ蒸着

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J-GLOBAL ID：200902175153852584 整理番号：96A0709221

シリコンウエハ上のc配向したLiNbO₃/LiTaO₃光導波路2層化膜のパルスレーザ蒸着

Pulsed laser deposition of c-oriented LiNbO₃/LiTaO₃ optical waveguiding bilayered films on silicon wafers.

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巻： 165 号： 1/2 ページ： 187-190 発行年： 1996年07月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

LiNbO3(LN)/LiTaO<su...

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酸化物薄膜

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