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J-GLOBAL ID：200902175276513636   整理番号：94A0111130

Ar-N₂DCグロー放電中の電子エネルギーの分布関数

Electron Energy Distribution Function in Ar-N₂ DC glow discharge.

著者 (3件)： 赤塚和哉 (名古屋工大 工) ,  木村高志 (名古屋工大 工) ,  大江一行 (名古屋工大 工)
資料名： 日本物理学会講演概要集(分科会)  (日本物理学会分科会講演予稿集)
巻： 1993  号： Autumn Pt 4  ページ： 151  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： S0872B  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： Ar ,  グロー放電 ,  電子エネルギー ,  分布関数