超短レーザ・パルスによるレーザ・アブレーションとマイクロマシニング

LIU X; DU D; MOUROU G

文献

J-GLOBAL ID：200902175280377593 整理番号：97A0954362

超短レーザ・パルスによるレーザ・アブレーションとマイクロマシニング

Laser Ablation and Micromachining with Ultrashort Laser Pulses.

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巻： 33 号： 10 ページ： 1706-1716 発行年： 1997年10月
JST資料番号： H0432A ISSN： 0018-9197 CODEN： IEJQA7 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

超短パルス・レーザによる材料のアブレーション機構について検討...

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レーザの応用 , 固体デバイス製造技術一般

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