文献
J-GLOBAL ID:200902175296396245
整理番号:94A0195657
プラズマ溶射法による多結晶シリコン膜の作製 (4)
Fabrication of poly Si films using plasma spray method.
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0195657&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}