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J-GLOBAL ID：200902175296396245   整理番号：94A0195657

プラズマ溶射法による多結晶シリコン膜の作製 (4)

Fabrication of poly Si films using plasma spray method.

著者 (4件)： 田村文孝 (東燃) ,  岡安良宣 (東燃) ,  北野昌則 (東燃) ,  熊谷啓二 (東燃)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 744  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  溶射法 ,  多結晶シリコン膜 ,  作製