マイクロ波プラズマCVD法によるSiC低温コーティング

文献

J-GLOBAL ID：200902175320671961 整理番号：93A0729301

Low-Temperature Coating of SiC Films by Microwave-Plasma CVD.

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資料名：
巻： 1993 ページ： 549 発行年： 1993年03月
JST資料番号： X0505A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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