文献
J-GLOBAL ID:200902175382083233
整理番号:93A0904031
Investigation of carbon incorporation into GaAs by TEGa-AsH3 based low pressure metalorganic chemical vapor deposition.
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著者 (3件):
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資料名:
ページ:
459-463
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19930543
ISBN:
1-55899-196-4
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
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