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J-GLOBAL ID:200902175409400180   整理番号:93A0319174

Selective substrate contact with dual width trenches.

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資料名:
巻: 18  ページ: 18-21  発行年: 1993年03月 
JST資料番号: B0269B  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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