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J-GLOBAL ID：200902176126633214   整理番号：02A0772502

ヒドロキシアパタイトターゲットからスパッタした膜の相組成

Phase composition of sputtered films from a hydroxyapatite target.

著者 (4件)： OZEKI K (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  YUHTA T (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  FUKUI Y (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  AOKI H (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 160  号： 1  ページ： 54-61  発行年： 2002年10月01日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 結晶性ヒドロキシアパタイト(HA)の高周波マグネトロンスパッ...

シソーラス用語： *ヒドロキシアパタイト ,...
準シソーラス用語： ピロリン酸塩

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (2件)： スパッタ ,  相組成