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J-GLOBAL ID：200902176225081924   整理番号：00A0352056

Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作

著者 (4件)： 角嶋邦之 (東大 生産技研) ,  三田信 (東大 生産技研) ,  橋口原 (香川大) ,  藤田博之 (東大 生産技研)
資料名： 電気学会マイクロマシン研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MM-00  号： 1-8  ページ： 41-44  発行年： 2000年02月28日 
JST資料番号： L2898A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ構造デバイスや新材料の開発につれ,機能や物性を精度良く計...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (2件)：

• HASHIGUCHI, G. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, L1649-L1650
• HASHIGUCHI, G. Fabrication of Facing Nano-wire Probes for In-Situ Observation of Tunneling Phenomena with Ultra-High Resolution TEM. Transducers '99, Sendai, Japan, June. 1999, 862

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  マイクロマシニング技術 ,  微小領域 ,  計測 ,  プローブ ,  試作