溶液原料を用いたCVD法によるBa0.5Sr0.5TiO3膜の作製

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J-GLOBAL ID：200902176290327175 整理番号：94A0179228

溶液原料を用いたCVD法によるBa_0.5Sr_0.5TiO₃膜の作製

CVD Process for Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ Films using Liquid Sources.

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資料名：
巻： 54th 号： 2 ページ： 442 発行年： 1993年09月
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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