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J-GLOBAL ID：200902176375643394   整理番号：99A0463145

Si基板を用いたナノメートルオーダの機械振動子の作成

Fabrication Technique of Silicon based Nanometric Oscillators.

著者 (4件)： SAYA D (Univ. Tokyo) ,  TOSHIYOSHI H (Univ. Tokyo) ,  FUJITA H (Univ. Tokyo) ,  KAWAKATSU H (Univ. Tokyo)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 46th  号： 2  ページ： 708  発行年： 1999年03月28日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： Si基板 ,  ナノメートルオーダ ,  振動子