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J-GLOBAL ID：200902176461149238   整理番号：93A0851231

Isolated-grouped linewidth bias on SVGL Micrascan.

著者 (3件)：
DESHPANDE V A

DESHPANDE V A について

(National Semiconductor)

National Semiconductor について

, 
HOLLAND K L

HOLLAND K L について

(IBM)

IBM について

, 
HONG A

HONG A について

(SEMATECH, TX)

SEMATECH, TX について


資料名：
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

Proceedings of SPIE について


巻： 1927  号： Pt 1  ページ： 333-365  発行年： 1993年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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