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J-GLOBAL ID：200902176639824120   整理番号：94A0195552

レジスト形状に及ぼすシフタエッジ角およびレンズ収差の効果

Effect of Shifter Edge-Slope Angles and Lens Aberrating on Resist Patterns.

著者 (4件)： 中谷光徳 (三菱電機) ,  中野博文 (三菱電機) ,  加門和也 (三菱電機 LSI研) ,  佐藤和彦 (三菱電機)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 583  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： レジスト ,  レンズ ,  収差