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J-GLOBAL ID:200902176714073586   整理番号:95A0799779

フラーレン状の微細構造をもつ超硬及び弾性的窒化炭素膜

Superhard and Elastic Carbon Nitride Thin Films Having Fullerenelike Microstructure.
著者 (4件):
資料名:
巻: 75  号:ページ: 1336-1339  発行年: 1995年08月14日 
JST資料番号: H0070A  ISSN: 0031-9007  CODEN: PRLTAO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Si(001)基板に蒸着したCNx膜が...
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