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J-GLOBAL ID：200902176806835830   整理番号：97A0615956

微小電気機械光学式スキャナの開発

Development of micro-electro-mechanical optical scanner.

著者 (9件)： MOTAMEDI M E (Rockwell Sci. Center, California) ,  PARK S (Rockwell Sci. Center, California) ,  WANG A (Rockwell Sci. Center, California) ,  DADKHAH M S (Rockwell Sci. Center, California) ,  ANDREWS A P (Rockwell Sci. Center, California) ,  MARCY H O (Rockwell Sci. Center, California) ,  KHOSHNEVISAN M (Rockwell Sci. Center, California) ,  HUHN R J (Rockwell Automation, Wisconsin) ,  SMITS J G (Boston Univ., Massachusetts)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 36  号： 5  ページ： 1346-1353  発行年： 1997年05月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Rockwellで開発したバイモルフマイクロアクチュエータに...

シソーラス用語： 走査装置 ,...
準シソーラス用語： MOEM素子

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分類 (1件)： その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小電気機械 ,  光学 ,  スキャナ ,  開発