異方性エッチング液に対する薄膜の耐性

文献

J-GLOBAL ID：200902176819806635 整理番号：98A0566728

The Resistance for Anisotropic Etching of Thin Films.

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巻： 41 号： 3 ページ： 258-261 発行年： 1998年03月
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

マイクロマシニングへの応用を念頭に,熱酸化したSiウエハ上の...

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試料技術 , 金属薄膜

引用文献 (2件)：

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