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J-GLOBAL ID：200902176976475073   整理番号：97A0508882

単一リソグラフィ工程による広面積垂直共振器上面発光レーザ用インジウム酸化錫透明電極

Indium Tin Oxide Transparent Electrodes for Broad-Area Top-Emitting Vertical-Cavity Lasers Fabricated Using a Single Lithography Step.

著者 (5件)： CHUA C L (Xerox Palo Alto Res. Center, CA, USA) ,  THORNTON R L (Xerox Palo Alto Res. Center, CA, USA) ,  TREAT D W (Xerox Palo Alto Res. Center, CA, USA) ,  YANG V K (Xerox Palo Alto Res. Center, CA, USA) ,  DUNNROWICZ C C (Xerox Palo Alto Res. Center, CA, USA)
資料名： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 9  号： 5  ページ： 551-553  発行年： 1997年05月 
JST資料番号： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インジウム酸化錫(ITO)透明電極を用いた,酸化膜埋め込み型...

シソーラス用語： 面発光レーザ ,...
準シソーラス用語： VCSEL

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分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (7件)： リソグラフィ工程 ,  面積 ,  垂直 ,  共振器 ,  面発光レーザ ,  インジウム酸化錫 ,  透明電極