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J-GLOBAL ID:200902177156032998   整理番号:95A1019080

n型6H-SiCとのCoSi2Ohm接触

CoSi2 ohmic contacts to n-type 6H-SiC.
著者 (2件):
資料名:
巻: 38  号: 12  ページ: 2023-2028  発行年: 1995年12月 
JST資料番号: H0225A  ISSN: 0038-1101  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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