文献
J-GLOBAL ID:200902177186784420   整理番号:94A0371485

Kinetic Dopant Inhomogeneities in Semiconductor Crystals-Formation and Suppression.

著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 270-274  発行年: 1993年12月 
JST資料番号: T0827A  ISSN: 0938-0108  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)

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