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J-GLOBAL ID：200902177270175197   整理番号：95A0854630

貴金属のMOCVD

MO CVD of Noble Metals.
著者 (1件)：
IGUMENOV I K

IGUMENOV I K について

(Inst. Inorganic Chemistry, Novosibirsk, SUN)

Inst. Inorganic Chemistry, Novosibirsk, SUN について


資料名：
Journal de Physique. 4. Proceedings  (Journal de Physique. 4. Proceedings)

Journal de Physique. 4. Proceedings について


巻： 5  号： C5 Vol 1  ページ： C5.489-C5.496  発行年： 1995年06月 
JST資料番号： A0743C  ISSN： 1155-4339  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： フランス (FRA)  言語： 英語 (EN)
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貴金属(Pt,Pd,Rh,Ir,Ru,Au)被覆のCVDプロ...
シソーラス用語：
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MOCVD

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ペンタンジオン

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分類 (1件)：
分類
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金属薄膜 
(BK14030T)

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