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J-GLOBAL ID：200902177439578717   整理番号：02A0889907

ミリ波反射を用いる半導体ウエハの電気伝導率の非接触測定

Contactless measurement of electrical conductivity of semiconductor wafers using the reflection of millimeter waves.

著者 (4件)： JU Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  INOUE K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SAKA M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ABE H (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 81  号： 19  ページ： 3585-3587  発行年： 2002年11月04日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透過したミリ波がウエハ内で急速減衰することを利用して,ウエハ...

シソーラス用語： *EHF波 ,...

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分類 (2件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  電磁気学一般  (BD01020N)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミリ波 ,  半導体ウエハ ,  電気伝導率 ,  非接触測定