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J-GLOBAL ID：200902177602984841   整理番号：02A0011738

幾何学的影響の解析のための非対称高周波放電の二次元電気的モデリング 実験との比較

Two-dimensional electrical modeling of asymmetric radio-frequency discharges for geometry effect analysis. Comparison with experiments.

著者 (8件)： RADOUANE K (Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA) ,  DESPAX B (Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA) ,  YOUSFI M (Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA) ,  COUDERC J P (Ecole Nationale Superieure d’Integeneieurs de Genie Chimiqu Toulouse, FRA) ,  KLUSMANN E (ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU) ,  MEYER H (ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU) ,  SCHULZ R (ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU) ,  SCHULZE J (ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 90  号： 9  ページ： 4346-4354  発行年： 2001年11月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分子水素の高周波放電で,自己バイアスの計算とプラズマ反応器の...

シソーラス用語： *高周波放電 ,...
準シソーラス用語： 電界分布

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分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 幾何学 ,  解析 ,  非対称 ,  高周波放電 ,  モデリング ,  実験