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J-GLOBAL ID：200902177964640172   整理番号：98A0177116

腐食性ガス配管システムのためのオゾン不動態化技術

Ozone Passivation Technique for Corrosive Gas Distribution System.

著者 (4件)： KOIKE K (Iwatani International Corp., Shiga, JPN) ,  INOUE G (Iwatani International Corp., Shiga, JPN) ,  TAKATA T (Iwatani International Corp., Shiga, JPN) ,  FUKUDA T (Iwatani International Corp., Shiga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36  号： 12A  ページ： 7437-7441  発行年： 1997年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ステンレス鋼管の電解研磨処理材のために用いられる高濃度オゾン...

シソーラス用語： ステンレス鋼 ,...

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分類 (1件)： 防食  (WB03040M)

引用文献 (6件)：

• 1) T. Ohmi, A. Ohki, M. Nakamura, K. Kawada, T. Watanabe, Y. Nakagawa, S. Miyoshi, S. Takahashi and M. S. K. Chen: J. Electrochem. Soc. 140 (1993) 1691.
• 2) Y. Shirai, T. Hashimoto, M. Nakazaki, Y. Nakagawa and T. Ohmi: Proc. 5th Int. Symp. Semiconductor Manufacturing, Tokyo, 1996, p. 333.
• 3) Y. Shirai, T. Kojima, M. Narazaki and T. Ohmi: Proc. Microcontamination 94 Conf., San Jose, 1994, p. 272.
• 4) T. Hattori, H. Takagi, A. Boireau, H. Chevrel, E. Ozawa and J. M. Friedt: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 2100
• 5) N. Cabrera and N. F. Mott: Rep. Progr. Phys. 12 (1948) 163.

タイトルに関連する用語 (4件)： 腐食性ガス ,  配管システム ,  オゾン ,  不動態化