文献
J-GLOBAL ID：200902177983877663   整理番号：01A0292787

マイクロマシン加工デバイスのためのシミュレーションアプローチの出現

Emerging Simulation Approaches for Micromachined Devices.
著者 (4件)：
MUKHERJEE T

MUKHERJEE T について

(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)

Carnegie Mellon Univ., PA, USA について

, 
FEDDER G K

FEDDER G K について

(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)

Carnegie Mellon Univ., PA, USA について

, 
RAMASWAMY D

RAMASWAMY D について

(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)

Massachusetts Inst. Technol., MA, USA について

, 
WHITE J

WHITE J について

(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)

Massachusetts Inst. Technol., MA, USA について


資料名：
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems  (IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems)

IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems について


巻： 19  号： 12  ページ： 1572-1589  発行年： 2000年12月 
JST資料番号： B0142C  ISSN： 0278-0070  CODEN： ITCSDI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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マイクロマシン加工デバイスを含めた回路シミュレーションに拡張...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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マイクロマシニング

マイクロマシニング について

,...
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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  CAD,CAM 
(JE10000A)

CAD,CAM について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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マイクロマシン加工

マイクロマシン加工 について

, 
シミュレーション

シミュレーション について


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