文献
J-GLOBAL ID:200902178003718650
整理番号:94A0179901
イオン注入により導入されるダメージプロファイル III
Damage profile formed by ion implantation. III.
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0179901&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}