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J-GLOBAL ID：200902178013215125   整理番号：02A0642030

切削工具による単結晶シリコンのマイクロドリル加工

Micro-drilling of monocrystalline silicon using a cutting tool.
著者 (2件)：
EGASHIRA K

EGASHIRA K について

(Kinki Univ., Wakayama, JPN)

Kinki Univ., Wakayama, JPN について

, 
MIZUTANI K

MIZUTANI K について

(Kinki Univ., Wakayama, JPN)

Kinki Univ., Wakayama, JPN について


資料名：
Precision Engineering  (Precision Engineering)

Precision Engineering について


巻： 26  号： 3  ページ： 263-268  発行年： 2002年07月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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三次元の高アスペクト比の微細形状の加工を目的として,刃具によ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ドリル加工

ドリル加工 について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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延性モード

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分類 (1件)：
分類
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その他の切削 
(QC02040C)

その他の切削 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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切削工具

切削工具 について

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単結晶シリコン

単結晶シリコン について

, 
マイクロドリル加工

マイクロドリル加工 について


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