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J-GLOBAL ID：200902178037818289   整理番号：02A0310589

MPS膜を被覆したQCMの湿度センサーとしての応用

著者 (7件)： 井吉めぐみ (名古屋大 大学院) ,  KIM K Y (名古屋大 大学院) ,  KIM J-D (名古屋大 大学院) ,  杉村博之 (名古屋大 大学院) ,  高井治 (名古屋大 大学院) ,  黒さわ茂 (産業技術総合研) ,  愛沢秀信 (産業技術総合研)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 104th  ページ： 15-16  発行年： 2001年09月07日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *湿度センサ ,...
準シソーラス用語： *シリカ ,...

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分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  湿度測定,湿度計  (AD06020V)

物質索引 (1件)： オルトけい酸テトラエチル

タイトルに関連する用語 (4件)： MPS ,  QCM ,  湿度センサー ,  応用