文献
J-GLOBAL ID：200902178251904206   整理番号：98A0738268

放電プラズマ化学における反応粒子とそのエネルギー

Reactant particles and their energy in the discharge plasma chemical reaction.
資料名：
電気学会技術報告

電気学会技術報告 について


号： 679  ページ： 65P  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： S0378A  ISSN： 0919-9195  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
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プラズマ化学における比較的高励起エネルギーの活性種の形成過程...
シソーラス用語：
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*プラズマ化学反応

プラズマ化学反応 について

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*プラズマプロセシング

プラズマプロセシング について

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分類 (2件)：
分類
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特殊電力機器一般 
(NB10010G)

特殊電力機器一般 について

,  荷電体衝撃・放電による反応 
(CB06020R)

荷電体衝撃・放電による反応 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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放電プラズマ

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化学

化学 について

, 
エネルギー

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